产品编号：044004
规格型号：VTC-16-3HD
应用领域：
本机采用旋转式样品台，能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜，适用于实验室制备复膜的样品。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪采用PLC控制面板对设备进行控制，操作方便直观。该机设备小巧，占用实验室空间少，操作简单，应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。
产品持续更新中，详情咨询客服人员！！！
产品编号：044004
规格型号：VTC-16-3HD
应用领域：
本机采用旋转式样品台，能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜，适用于实验室制备复膜的样品。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪采用PLC控制面板对设备进行控制，操作方便直观。该机设备小巧，占用实验室空间少，操作简单，应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。
产品持续更新中，详情咨询客服人员！！！
产品介绍 | VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪（直流普通型），控制面板采用触摸屏模式，基片极限尺寸为2″，放置样品的直径为φ50mm，加热温度达500℃。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪可溅射金、银、铜三种靶材，不可以溅射轻金属和碳。 |
产品参数 | 1、输入功率：110V/220V通用2000W（含真空泵） 3、石英罩：φ160mm×120mm 4、样品台：φ50mm（可选购加热型样品台，最高温度可到500℃；最长溅射时间不可超过5min） 5、真空泵：120L/M旋片式真空泵 7、靶材：尺寸直径φ47mm，厚度0.1mm-3mm；可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可溅射氧化物、半导体、一些轻金属、Al、Zn、C等 8、尺寸：360mm×350mm×3600mm； 可选配件： 1、KF25真空接口、卡箍 2、不锈钢波纹管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材 5、加热型样品台 |
电话
15044071480
微信
1667455602
